硫鋇鋯(BaZrS3)作為一種硫族化合物鈣鈦礦材料,近年來備受關注,被視為新一代光電應用的明日之星。與廣泛研究的多晶薄膜相比,硫鋇鋯單晶具有缺陷少、晶界少等優勢,是研究材料本質特性和製造高效光電元件的理想平台。然而,硫鋇鋯單晶表面容易形成硫酸鹽或氧化物等電介質層,為製備高品質電接觸帶來挑戰,也成為實現高性能光電元件的阻礙。
為了解決表面電介質問題,本文作者探索並比較了多種電接觸製程。初期嘗試直接在晶體表面進行機械拋光後濺鍍鋁電極,雖然觀察到一定的光響應,但暗電流過高,顯示機械拋光可能引入缺陷。為此,作者進一步開發了基於乾蝕刻技術的無拋光製程,並結合金屬剝離技術製備電極。
相較於機械拋光,乾蝕刻技術能有效去除表面電介質,同時最大程度地減少對晶體的損傷。實驗結果顯示,採用乾蝕刻技術製備的硫鋇鋯單晶光電探測器,其暗電流顯著降低,且光響應速度更快,展現出優異的性能。
本研究為製備高性能硫鋇鋯單晶光電元件提供了新的思路,並為探索其本質特性奠定了基礎。未來,開發新型合成方法以獲得更大尺寸的硫鋇鋯單晶,以及探索無損傷的元件製備技術,將是實現高效硫鋇鋯光伏電池的關鍵。
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