Konsep Inti
Proposing a dual-port FeFET design to eliminate pass disturb in vertical NAND storage.
Abstrak
この記事では、垂直NANDストレージにおけるパスの乱れを排除するためのデュアルポートFeFETデザインが提案されています。シングルポート設計の課題とデュアルポート設計の効果について実験的に検証されており、高信頼性の密度記憶を可能にする有望な手法であることが示唆されています。
Statistik
フェロ電気ゲートスタックプロセスモジュールは、薄いSiO2ベースの界面層から始まり、ALDを使用してドープされたHfO2フィルムが堆積されます。
FEOL FeFETデバイスは、22nmノードゲートファースト高κメタルゲートCMOSプロセスで製造されました。
BEOL IWO FeFETの特性評価では、100サイクルの読み取り操作が行われました。
Kutipan
"Due to its unique serial structure, vertical NAND array is more susceptible to disturb than other structures of memory array during memory read and write operations."
"The proposed design can be incorporated in a highly scaled vertical NAND FeFET string."