核心概念
本稿では、高アスペクト比マイクロメカニカルカンチレバーにおける迷光を軽減するために、高い電気伝導性を維持しながら光反射率を大幅に低減する、プラチナブラックの電着技術について述べています。
要約
プラチナブラック電着による迷光軽減技術:マイクロメカニカルカンチレバーへの応用
本稿は、高精度実験物理学の最先端であるオプトメカニクス実験で使用されるマイクロデバイスにおける、迷光軽減のためのプラチナブラック電着技術に関する研究論文である。
本研究は、高い電気伝導性を維持しながら、可視光および近赤外光を吸収するプラチナブラックコーティングをマイクロスケールデバイスに施す手法の実証を目的とする。
市販の白金めっき液を用い、電流、超音波処理を制御することで、カンチレバーへの均一なプラチナブラックコーティングを形成した。
集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (FIB SEM) を用いて、コーティングの厚さと均一性を評価した。
光反射率測定を用いて、コーティング前後のカンチレバーの反射率を比較した。
コーティングされたカンチレバーとシールド間の電気抵抗を測定し、表面の電気伝導性を評価した。