MEMS ジャイロスコープの幾何学的非線形モーダルカップリング係数の最適化

MEMS およびNEMS共振器の幾何学的非線形性は、3波カップリング係数を大幅に調整できることを示す。これにより、望ましい非線形効果を強化したり、望ましくない非線形効果を抑制したりすることができる。