シンクロトロンX線を用いたSiC放射線検出器技術の特性評価

Основные понятия

本稿では、医療用線量測定や低エネルギーX線検出に適した、金属接触を用いない、あるいはグラフェン層を備えた新規SiC放射線検出器の特性評価について述べています。

Аннотация

論文情報

Lopez Paz, I., Fleta, C., Rafí, J. M., Rius, G., Godignon, P., Pellegrini, G., ... & Guardiola, C. (2024). Characterisation of SiC radiation detector technologies with synchrotron X-rays. Journal of Instrumentation, 19(12), P12013.

研究目的

本研究は、スペインのマイクロエレクトロニクス研究所(IMB-CNM)で開発された、異なる構成のシリコンカーバイド(SiC)放射線検出器の性能を、ALBAシンクロトロン施設のBL13-XALOCビームラインを用いて評価することを目的としています。

方法

• 3 µmおよび50 µmのエピタキシャル層を持つ4H-SiCダイオードを、異なる金属接触およびグラフェン層を用いて作製しました。
• これらの検出器を、4.6～23 keVの範囲で調整可能な単色X線ビームを備えたXALOCビームラインに設置しました。
• ビームサイズを50×50 µm2に集光し、減衰器を用いてビーム強度を変化させました。
• 検出器の応答は、カスタムメイドのALBA Em電位計を用いて、0 Vのバイアス電圧で測定しました。

主な結果

• 50 µmエピタキシャルダイオードは、3 µmのものと比較して、より高い感度を示しました。これは、0 Vにおける活性体積の違いによるものです。
• 金属接触を有するダイオードは、金属を含まないダイオードと比較して、光電効果による応答の増加を示しました。これは、金や白金などの高原子番号金属の存在に起因すると考えられます。
• グラフェン層を接触材料として用いたSiCダイオードは、金属接触を用いたダイオードと比較して、低エネルギーX線に対してより低い応答性を示しました。
• すべてのSiC検出器は、広いビーム強度範囲において良好な線形性を示しました。
• 3 µmエピタキシャルデバイスは、電流収集が注入領域全体で行われた場合でも、均一な応答を示しました。これは、医療用線量測定などの用途において、金属の必要性をなくすことを示唆しています。

結論

本研究の結果は、IMB-CNMで製造されたSiC放射線検出器が、医療用線量測定や低エネルギーX線検出などの用途に適していることを示しています。特に、グラフェン層を接触材料として用いたSiCダイオードは、従来の金属接触を用いたダイオードと比較して、低エネルギーX線に対する感度が低いため、正確な線量測定に適しています。また、3 µmエピタキシャルデバイスは、金属接触を必要としないため、製造プロセスを簡素化できる可能性があります。

今後の研究

• 放射線照射後のSiC検出器の長期安定性に関するさらなる研究が必要です。
• 異なるエネルギーのX線に対するSiC検出器の応答を詳細に調査する必要があります。
• SiC検出器の性能を向上させるために、異なる接触材料や構造を検討する必要があります。

Статистика

4H-SiCの電子正孔対生成に必要なエネルギーは7.8 eVです。
X線ビームエネルギーは4.6～23 keVの範囲で調整可能です。
ビームスポットサイズは50×10～300×300 µm2です。
SiC-Graphene50umとSiC-Metal50umの活性深度は約7 µmです。

Цитаты

"The presence of some metals such as Au has the effect of increasing the dose reaching the active area of the device when applicable."
"The 3 µm epitaxial devices have shown a uniform response consistent to similarly fabricated detectors [17], even in the case where the current collection is done across the implantation, removing the need of metal in the inner region."

Ключевые выводы из

Characterisation of SiC radiation detector technologies with synchrotron X-rays

by Ivan... в arxiv.org 11-20-2024

https://arxiv.org/pdf/2411.12320.pdf

Дополнительные вопросы

SiC検出器は、他の放射線検出器と比較して、どのような利点がありますか？

SiC検出器は、従来のシリコン（Si）検出器と比較して、以下のような利点があります。

高い放射線耐性: SiCはSiよりも格子欠陥が生じにくいため、高線量の放射線環境下でも性能劣化が少なく、長寿命です。これは、変位エネルギーしきい値がSiよりも高いためです。
高温動作: SiCはSiよりもバンドギャップが広く、高温でのリーク電流が小さいため、高温環境下でも安定して動作します。これは、特に高温での放射線測定が必要とされる場面で有利です。
高速応答: SiCはSiよりも電子移動度が高いため、高速な放射線信号の検出に適しています。これは、時間分解能が求められる測定に重要です。
化学的安定性: SiCは化学的に安定な物質であるため、腐食性環境でも使用できます。
これらの利点により、SiC検出器は、高エネルギー物理学実験、核融合炉の計測、医療用画像診断、宇宙開発など、過酷な環境下での放射線計測に適しています。

金属接触の代わりにグラフェンを使用することの欠点は何ですか？

グラフェンは、高い電気伝導性、光透過性、柔軟性など、多くの優れた特性を持つことから、SiC検出器の電極材料として期待されています。しかし、金属接触の代わりにグラフェンを使用することには、以下のような欠点も存在します。

接触抵抗の増大: グラフェンとSiCの界面における接触抵抗は、金属電極と比較して大きくなる可能性があります。これは、検出器の感度やエネルギー分解能の低下につながる可能性があります。
製造プロセスの複雑化: グラフェン電極の形成は、金属電極の形成よりも複雑なプロセスが必要となる場合があります。これは、製造コストの増加や歩留まりの低下につながる可能性があります。
長期安定性: グラフェン電極の長期安定性については、まだ十分に解明されていない点があります。特に、高温や高放射線環境下での安定性が懸念されます。
これらの欠点を克服するために、グラフェン電極の構造や形成方法の最適化、新たな界面材料の開発などの研究が進められています。

この研究で開発されたSiC検出器は、どのような分野に応用できるでしょうか？

この研究で開発されたSiC検出器は、特に低エネルギーX線に高い感度を持つことから、以下の分野への応用が期待されます。

医療用画像診断: 特に、X線を用いたマンモグラフィや歯科用レントゲン撮影など、低線量で高感度な画像診断が求められる分野に適しています。金属電極を用いないことで、X線画像へのアーティファクトの影響を低減できる可能性があります。
材料分析: X線回折や蛍光X線分析など、材料の構造や組成を分析する際に、微弱なX線を高感度に検出する必要があります。SiC検出器は、従来の検出器よりも高感度な測定を可能にする可能性があります。
放射線モニタリング: 環境放射線や放射性物質のモニタリングにおいて、低線量の放射線を高感度に検出する必要があります。SiC検出器は、小型で省電力な放射線モニターの実現に貢献する可能性があります。
さらに、SiC検出器は高温環境でも安定して動作するため、原子力発電所や宇宙空間など、過酷な環境下での放射線計測にも応用できる可能性があります。