Основные понятия
這篇文章研究了利用超快雷射誘導形貌變化和選擇性蝕刻來製造藍寶石奈米結構的方法,探討了雷射參數與蝕刻程度之間的關係,並展示了所製造奈米結構的疏水性和光散射特性。
Аннотация
文獻資訊
Cheung, J., Chien, K.-C., Sokalski, P., Shi, L., & Chang, C.-H. (2024). Fabrication of Hierarchical Sapphire Nanostructures using Ultrafast Laser Induced Morphology Change. ACS Applied Nano Materials, 7(4), 3318–3327. https://doi.org/10.1021/acsanm.3c04448
研究目標
本研究旨在探討利用超快雷射誘導形貌變化和選擇性蝕刻來製造藍寶石奈米結構的方法,並探討雷射參數與蝕刻程度之間的關係。
研究方法
- 使用超快雷射在藍寶石基板上進行不同雷射強度和脈衝數的照射實驗。
- 利用拉曼光譜儀分析雷射照射區域的結晶度變化。
- 使用氫氟酸對照射區域進行選擇性蝕刻。
- 利用雷射共聚焦顯微鏡觀察蝕刻前後的表面形貌和尺寸變化。
- 測量蝕刻面積比來量化選擇性蝕刻的程度。
- 製備大面積藍寶石奈米結構陣列,並進行接觸角測量以評估其疏水性。
- 進行紫外-可見-近紅外光譜儀透射率測量,以表徵奈米結構的光學特性。
主要發現
- 發現只有當雷射脈衝強度超過一定閾值時,才會發生選擇性蝕刻。
- 拉曼光譜分析顯示,Eg和A1g振動模式的強度比可以作為選擇性蝕刻程度的指標。
- 發現蝕刻面積比與雷射脈衝數之間沒有顯著的關係。
- 成功製造出具有高接觸角和高接觸角遲滯的藍寶石奈米結構,展現出玫瑰花瓣效應。
- 奈米結構表現出高達81.8%的漫透射率,可用於寬頻光學漫射器。
主要結論
- 超快雷射誘導形貌變化和選擇性蝕刻是製造藍寶石奈米結構的有效方法。
- 拉曼光譜可以作為預測選擇性蝕刻程度的有效工具。
- 所製造的奈米結構具有增強的疏水性和光散射特性,在光學和生物醫學領域具有潛在應用價值。
研究意義
本研究為藍寶石奈米結構的製造提供了一種新方法,並深入了解了超快雷射與藍寶石之間的交互作用機制,有助於推動藍寶石奈米結構在光子學、光電子學和透明陶瓷等領域的應用。
研究限制與未來方向
- 未來需要進一步研究接近閾值的雷射參數和形貌狀態,以更精確地控制選擇性蝕刻過程。
- 可以探索其他蝕刻工藝,例如硫酸和磷酸混合溶液,以控制奈米結構的光學特性和疏水性。
- 可以研究不同形貌的奈米結構對其疏水性和光學特性的影響。
Статистика
藍寶石奈米結構的接觸角為 140 度。
藍寶石奈米結構在 1354 nm 波長處的漫透射率峰值为 81.8%。
藍寶石奈米結構的總透射率在 2135 nm 波長處達到峰值 96.1%。
選擇性蝕刻的氫氟酸對結晶態和非晶態藍寶石的選擇比高達 1:104。
Цитаты
"The results indicate that a threshold laser pulse intensity is required for selective etching to occur."
"This work improves the understanding of sapphire morphology change via ultrafast laser and the corresponding selective etching, which can enable new sapphire nanomanufacturing processes with applications in photonics, optoelectronics, and transparent ceramics."