核心概念
대규모 양자 컴퓨터 구현을 위해서는 수백만 개의 물리적 큐비트가 필요하며, 이를 위해 CMOS 산업 수준의 제조 기술과 테스팅 프로세스가 필요하다.
摘要
이 연구에서는 300mm 웨이퍼 규모의 스핀 큐비트 디바이스를 대량으로 테스팅하고 특성화하는 방법을 소개한다. 저온 300mm 웨이퍼 프로브 시스템을 사용하여 수백 개의 스핀 큐비트 디바이스의 성능 데이터를 신속하게 수집할 수 있다. 이를 통해 CMOS 호환 제조 공정을 최적화하여 수율과 공정 편차를 크게 개선할 수 있었다. 이 시스템을 이용해 스핀 큐비트의 동작 전압 분포와 단일 전자 전이 특성을 웨이퍼 전체에 걸쳐 자동으로 측정하였다. 그 결과 최적화된 제조 공정을 통해 300mm 규모에서도 낮은 수준의 무질서도를 달성할 수 있음을 확인하였다. 이는 CMOS 산업 기술을 스핀 큐비트 디바이스 제조 및 측정에 적용하여 얻을 수 있는 진전을 보여준다.
統計資料
수백 개의 스핀 큐비트 디바이스에 대한 성능 데이터를 1.6K에서 신속하게 수집할 수 있었다.
최적화된 제조 공정을 통해 300mm 웨이퍼 규모에서 낮은 수준의 무질서도를 달성할 수 있었다.
引述
"Building a fault-tolerant quantum computer will require vast numbers of physical qubits."
"Equally important, the scale of cryogenic device testing must keep pace to enable efficient device screening and to improve statistical metrics such as qubit yield and voltage variation."
"Together, these results demonstrate the advances that can be achieved through the application of CMOS-industry techniques to the fabrication and measurement of spin qubit devices."