이 논문은 웨이퍼 맵 결함 패턴을 효과적으로 클러스터링하는 반복적 방법을 제안한다. 이 방법은 다음과 같은 3단계 프로세스를 반복적으로 수행한다:
각 반복에서는 실루엣 점수가 가장 높은 클러스터를 선별하여 제거한다. 이를 통해 남은 데이터셋에 대해 PCA와 클러스터링을 다시 수행하여 더 균일한 클러스터를 찾아낼 수 있다.
제안 방법은 실제 산업 데이터셋에서 기존 방법보다 우수한 성능을 보였다. 특히 복잡한 결함 패턴을 잘 분류할 수 있었다. 또한 계산 비용이 낮아 대규모 데이터셋에 대한 빠른 분석이 가능하다.
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by Alina Pleli,... lúc arxiv.org 04-25-2024
https://arxiv.org/pdf/2404.15436.pdfYêu cầu sâu hơn