半導体スマート製造における収量向上のための説明可能なAutoML（xAutoML）と適応モデリング

半導体スマート製造における収量向上のため、説明可能なAutoML（xAutoML）が優れた性能を発揮し、欠陥診断や関連アプリケーションに有益であることを示唆している。