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MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 단일 포트와 이중 포트 구조에 따라 다르게 나타나며, 이중 포트 마이크로폰의 경우 주파수에 반비례하는 특성을 보인다.
Tiivistelmä
이 연구에서는 MEMS 마이크로폰의 진동 감도 특성을 이론적으로 모델링하고 실험적으로 검증하였다.
주요 내용은 다음과 같다:
단일 포트 MEMS 마이크로폰과 이중 포트 MEMS 마이크로폰의 진동 감도 모델을 각각 제시하였다. 단일 포트 마이크로폰의 진동 감도는 주파수에 독립적인 반면, 이중 포트 마이크로폰의 진동 감도는 주파수에 반비례하는 특성을 보인다.
다양한 MEMS 마이크로폰 모델을 대상으로 실험을 수행하여 이론 모델의 타당성을 검증하였다. 실험 결과, 단일 포트와 이중 포트 마이크로폰의 진동 감도 특성이 이론 모델과 잘 일치하는 것을 확인하였다.
이중 포트 마이크로폰의 진동 감도는 마이크로폰의 고유 진동수(stiffness)와 무관하며, 오직 마이크로폰 구조 치수에 의해 결정된다는 것을 밝혀냈다.
진동 방향에 따른 영향을 분석한 결과, 이중 포트 마이크로폰은 진동 방향에 민감하게 반응하는 반면, 단일 포트 마이크로폰은 진동 방향에 크게 영향을 받지 않는 것으로 나타났다.
이 연구 결과는 MEMS 마이크로폰 설계 및 응용 분야에서 유용한 정보를 제공할 것으로 기대된다.
Tilastot
MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 주파수에 반비례한다.
단일 포트 MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 주파수에 독립적이다.
이중 포트 MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 마이크로폰의 고유 진동수(stiffness)와 무관하다.
Lainaukset
"이중 포트 MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 주파수에 반비례한다."
"단일 포트 MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 주파수에 독립적이다."
"이중 포트 MEMS 마이크로폰의 진동 감도는 마이크로폰의 고유 진동수(stiffness)와 무관하다."