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Idée
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高度な配線のための金属代替材料の選択
金属代替材料の選択による高度な配線の開発
高度な集積回路の性能を制限する重要な要因は配線の抵抗と信頼性である。従来のCu双damascene配線は限界に達しつつあり、代替金属の選択が重要になっている。
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