Detaillierte Beobachtungen und experimentelle Erkenntnisse zur maschinellen Lernbasierten Defektklassifizierung in Wafern
Dieser Übersichtsartikel bietet eine umfassende Überprüfung der Methoden, die maschinelle Lernklassifizierungstechniken für die Identifizierung von Waferdefekten in der Halbleiterherstellung nutzen.