스퍼터 증착 공정 변동성 속에서 안정적인 특성 달성을 위한 베이지안 최적화

베이지안 최적화 기법을 활용하여 스퍼터 증착 공정 조건을 최적화하여 원하는 잔류 응력과 시트 저항을 달성하고, 공정 변동성에 대한 민감도를 최소화하였다.