マイクロスケール独立型単結晶複合酸化物デバイスアレイを作製するための戦略

本稿では、マイクロスケール独立型単結晶複合酸化物デバイスアレイを作製するための、ウェットケミカルエッチングベースの微細加工プロセスとエピタキシャルリフトオフを組み合わせた汎用的な作製戦略を提示する。