이 논문은 전자주사투과현미경(STEM)에서 4D STEM 데이터 분석을 위해 스캔 좌표계와 검출기 좌표계 간의 정렬을 보정하는 방법을 제안한다.
먼저 과초점 STEM 이미징 모델을 설명하고, 이를 기반으로 디지털 트윈을 구축한다. 디지털 트윈은 실제 현미경의 좌표계 변환을 모사하며, 이를 통해 과초점 STEM 데이터에서 얻은 검출기 이미지를 스캔 좌표계로 변환할 수 있다.
실제 현미경과 디지털 트윈의 좌표계 변환이 일치하면 변환된 이미지들이 정확히 중첩되어 선명한 이미지가 얻어진다. 반면 불일치하면 이미지가 흐려진다. 이 특성을 이용하여 사용자가 디지털 트윈의 매개변수를 조정하면서 선명도를 최대화하는 방식으로 좌표계 정렬을 보정할 수 있다.
제안된 방법은 실시간 데이터 처리와 시각화를 통해 사용자가 직관적으로 조정할 수 있으며, 수치 최적화를 통해 정밀한 보정도 가능하다. 또한 이를 통해 얻은 보정 매개변수는 다른 데이터 분석에도 활용할 수 있다.
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