Core Concepts
양자화된 출력 센서를 가진 시스템에서 리사주 궤적을 추적하는 방법을 제안한다. 내부 모델 원리와 양성 실수성을 이용하여 센서 양자화 간격보다 훨씬 작은 스캐닝 해상도를 달성할 수 있다.
Abstract
이 논문은 양자화된 출력 센서를 가진 시스템에서 리사주 궤적을 추적하는 방법을 제안한다.
먼저 연속 시간 주기 신호 추적에 대한 이론적 결과를 제시한다. 이를 바탕으로 리사주 궤적 추적 문제에 적용한다. 제안된 방법은 내부 모델 원리를 활용하며, 시스템 방정식에 대한 완벽한 지식을 필요로 하지 않는다.
수치 결과를 통해 센서 양자화 간격이 크더라도 임의로 작은 스캐닝 해상도를 달성할 수 있음을 보인다. 이는 기존 디지털 엔코더로는 달성하기 어려운 나노미터 수준의 정밀도를 구현할 수 있음을 의미한다.
논문은 다음과 같이 구성된다:
양자화된 출력에 대한 연속 시간 주기 신호 추적 이론 제시
이론을 리사주 궤적 추적 문제에 적용
수치 시뮬레이션을 통한 제안 방법의 성능 검증
Stats
센서 양자화 간격 Δ = 1 μm
스캐닝 영역 ax × ay = 1 × 1 (μm)2
프레임 레이트 f = 1 Hz
스캐닝 해상도 h ≈ 70 nm
Quotes
"양자화된 출력 센서를 가진 시스템에서 리사주 궤적을 추적하는 방법을 제안한다."
"내부 모델 원리와 양성 실수성을 이용하여 센서 양자화 간격보다 훨씬 작은 스캐닝 해상도를 달성할 수 있다."