Core Concepts
강유전체 HZO 층을 이용하여 쇼트키 장벽을 조절함으로써 단일 소자에서 논리와 메모리 기능을 구현할 수 있는 새로운 트랜지스터 구조를 제안한다.
Abstract
이 연구에서는 실리콘 온 절연체(SOI) 기반의 쇼트키 장벽 전계 효과 트랜지스터(SBFET)에 강유전체 HZO 층을 정밀하게 통합하여 새로운 트랜지스터 구조를 개발하였다.
강유전체 HZO 층은 금속-반도체 접합 부근에만 위치하도록 설계되어, 반도체 채널의 수송 특성은 유지하면서 쇼트키 장벽을 조절할 수 있다.
폴라리티 게이트(PG)에 충분한 크기의 양/음의 전압 펄스를 인가하면 HZO 층의 잔류 분극에 의해 쇼트키 장벽의 높이가 변화하여, 전자 또는 정공 주입이 선택적으로 가능해진다.
이를 통해 단일 소자에서 p형 또는 n형 동작 모드를 선택할 수 있으며, 펄스 크기를 조절하면 다양한 전류 레벨을 얻을 수 있다.
제작된 소자는 장시간 동안 안정적인 상태 유지 특성을 보여, 논리-메모리 응용을 위한 유망한 소자 구조임을 입증하였다.
다만 고유전체/실리콘 계면의 트랩 상태로 인한 문제가 관찰되었으며, 이를 해결하기 위한 전략이 논의되었다.
Stats
양의 펄스 전압 (+5V)을 인가하면 드레인 전류(ID)가 4 orders of magnitude 감소한다.
음의 펄스 전압 (-3.5V)을 인가하면 드레인 전류(ID)가 2 orders of magnitude 증가한다.
다양한 펄스 전압 크기에 따라 드레인 전류(ID)가 지수함수적으로 변화한다.
Quotes
"강유전체 분극에 의해 쇼트키 장벽의 높이가 변화하여, 전자 또는 정공 주입이 선택적으로 가능해진다."
"단일 소자에서 p형 또는 n형 동작 모드를 선택할 수 있으며, 펄스 크기를 조절하면 다양한 전류 레벨을 얻을 수 있다."
"제작된 소자는 장시간 동안 안정적인 상태 유지 특성을 보여, 논리-메모리 응용을 위한 유망한 소자 구조임을 입증하였다."