本論文では、高度な配線用の代替金属の選択プロセスについて説明する。まず、金属ナノ構造の抵抗率スケーリングについて議論し、平均自由行程が重要な指標であることを示す。次に、絶縁体の時間依存絶縁破壊と電気マイグレーションなどの信頼性の観点から、代替金属の選択基準を説明する。最後に、現在検討されている元素金属、二元合金、三元化合物について、その特性と将来の研究方向性を概説する。
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by Jean... om arxiv.org 10-03-2024
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