다양한 금속 재료의 고전압 내구성 및 수소 이온 빔 조사에 따른 표면 열화 특성을 분석하여 향후 고효율 및 내구성 있는 RF 사중극자 구조 제작을 위한 최적 재료를 선정하고자 하였다.