現代VLSI製造における光近接補正の強化学習に基づく相関認識最適化

本論文は、光近接補正(OPC)問題に重要な原理を統合した強化学習ベースのOPCシステムCAMOを提案する。CAMOは、近接セグメントの空間相関を明示的に組み込み、OPC固有の変調を用いて、優れたマスク品質を生成する。