超短パルスレーザー誘起形態変化を用いた階層型サファイアナノ構造の作製と選択エッチングの関係性、および疎水性と光散乱特性の評価

本稿では、超短パルスレーザーを用いてサファイア基板に形態変化を誘起し、選択エッチングによってナノ構造を作製する手法を調査し、レーザーパラメータとエッチングの関係性、および作製したナノ構造の特性について報告している。