본 논문은 광학 근접 보정 문제의 중요한 원리를 통합하는 강화 학습 기반의 CAMO 시스템을 제안한다. CAMO는 인접 세그먼트 간의 공간적 상관관계를 명시적으로 고려하고, OPC 문제에 특화된 변조기를 도입하여 더 안정적이고 효율적인 최적화를 달성한다.
