本研究では、STEM-HAAADFナノ粒子の認識に深層学習のMask R-CNNモデルを適用した。シミュレーションデータを用いて、ガウシアンノイズ、粒子形状、粒子サイズがモデルの認識精度に及ぼす影響を評価した。
ガウシアンノイズは認識精度に決定的な影響を及ぼすことが明らかになった。ノイズ除去のためにガウシアンフィルターとノンローカルミーンズフィルターを適用したところ、認識精度が大幅に向上した。
さらに、実験的に取得したSTEM-HAAADFデータに対しても提案手法を適用し、従来の閾値法よりも高い精度で粒子を認識できることを示した。
本研究で開発した深層学習ベースの手法は、STEM-HAAADFによって生成される複雑な構造と大量のデータの分析に大きな可能性を秘めている。
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