スパッタリング堆積における処理変動に対する安定な特性を得るためのベイズ最適化

ベイズ最適化を用いて、スパッタリング堆積プロセスの条件を最適化し、望ましい残留応力と電気抵抗を達成しつつ、プロセス変動に対する感受性を最小化する。