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Información - 半導体製造
高NA EUVLに基づくセミコンダクタ欠陥検査の改善に向けて - SEMI-SuperYOLO-NASを用いて
高NA EUVLの低深度焦点に起因する信号検出の課題に対し、SEMI-SuperYOLO-NASアーキテクチャを提案し、低解像度画像からの高精度な欠陥検出を実現する。
半導体製造における時系列データの教師なし前学習による異常検知
本研究では、時系列センサデータの特徴を時間畳み込み埋め込みとGenerative Pre-trained Transformerを用いて学習し、教師なしで異常検知を行うモデルTRACE-GPTを提案する。
半導体スマート製造における収量向上のための説明可能なAutoML（xAutoML）と適応モデリング
半導体スマート製造における収量向上のため、説明可能なAutoML（xAutoML）が優れた性能を発揮し、欠陥診断や関連アプリケーションに有益であることを示唆している。