半導体ウェーハマップの欠陥パターンを効率的に分類するための反復クラスタリング手法

提案する反復クラスタリング手法は、ウェーハマップの欠陥パターンを効率的に分類することができる。特に、欠陥パターンの外観が大きく変化する場合でも良好なクラスタリング性能を発揮する。