본 연구는 반도체 스마트 제조에서 수율 향상을 위해 도메인 지식 기반 기능 추출, 모델 독립적 핵심 기능 선택, 이상치 탐지 및 결함 분류를 통합한 설명 가능한 자동 기계 학습(xAutoML) 기술을 제안한다.