
Dieser Übersichtsartikel bietet eine umfassende Überprüfung der Methoden, die maschinelle Lernklassifizierungstechniken für die Identifizierung von Waferdefekten in der Halbleiterherstellung nutzen.


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Detaillierte Beobachtungen und experimentelle Erkenntnisse zur maschinellen Lernbasierten Defektklassifizierung in Wafern


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Diese Studie bietet einen umfassenden Überblick über Methoden des maschinellen Lernens zur Identifizierung von Defekten auf Halbleiterwafers. Sie analysiert die Vor- und Nachteile sowie potenzielle Anwendungen verschiedener Klassifizierungsalgorithmen.
