ウェイクアップの低減を実現した強誘電体HfO2-ZrO2多層膜

HfO2とZrO2の交互積層により作製した多層薄膜は、ZrO2単層膜では得られない強誘電性を示し、さらに、HfO2単層膜と比較してウェイクアップサイクル数が大幅に減少する。