量子化された位置センサを用いたナノメートルスキャニング - 量子化の制約を超えるリサージュ軌道追跡

量子化された位置センサを用いた場合でも、リサージュ軌道を高精度に追跡できることを示した。人工的な量子化を参照信号に加えることで、量子化誤差を低減し、ナノメートルスケールの高精度な軌道追跡を実現できる。