高NA EUVLに基づくセミコンダクタ欠陥検査の改善に向けて - SEMI-SuperYOLO-NASを用いて

高NA EUVLの低深度焦点に起因する信号検出の課題に対し、SEMI-SuperYOLO-NASアーキテクチャを提案し、低解像度画像からの高精度な欠陥検出を実現する。