본 논문은 반도체 제조 공정에서 기계 학습 기반 웨이퍼 결함 식별 기법에 대한 포괄적인 리뷰를 제공한다. 다양한 기계 학습 분류 알고리즘의 장단점과 잠재적 활용 방안을 심층적으로 분석한다.
본 논문은 반도체 제조 공정에서 기계 학습 분류 기술을 활용하여 웨이퍼 결함을 식별하는 방법론에 대한 포괄적인 리뷰를 제공한다. 다양한 기계 학습 기술의 장단점과 잠재적 활용 방안을 심층적으로 분석한다.
본 논문은 반도체 제조 과정에서 웨이퍼 결함을 식별하기 위한 기계 학습 분류 기법의 종합적인 검토를 제공한다. 다양한 기계 학습 기법의 장단점과 잠재적 활용 방안을 자세히 분석하고, 이를 바탕으로 향후 연구 방향을 제시한다.