고주파 정전용량 센싱을 통한 전기유압 연성 액추에이터의 변위 추정

본 연구에서는 기존 Peano-HASEL 액추에이터의 한계를 극복하기 위해 추가 전극을 가진 F-HASEL 액추에이터를 제안하고, 이를 활용한 저비용 소형 회로를 통해 20Hz 이상의 고주파 구동에서도 정확한 변위 추정이 가능함을 보였다. 또한 외부 장력 변화에 대한 변위 추정 성능도 검증하였으며, 다수의 F-HASEL 액추에이터를 동시에 추정할 수 있는 회로를 제안하여 착용형 가상현실 응용 분야에 적용하였다.