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CMOS互換スピンキュービットデバイスの大規模製造と高速テスト
300ミリ径スピンキュービットウェハーにおける単一電子の探査
CMOS産業の手法を用いて、スピンキュービットデバイスの大規模製造と高速テストを実現し、高収率と低プロセス変動を達成した。
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