Detaillierte Beobachtungen und experimentelle Erkenntnisse zur maschinellen Lernbasierten Defektklassifizierung in Wafern

Diese Übersichtsarbeit bietet einen umfassenden Überblick über Methoden, die maschinelle Lernklassifikationstechniken zur Identifizierung von Waferdefekten in der Halbleiterherstellung nutzen. Sie präsentiert eine innovative Taxonomie der Methoden und führt Beobachtungs- und experimentelle Bewertungen durch, um die Vor- und Nachteile sowie das Potenzial verschiedener Ansätze zu beleuchten.