Detaillierte Beobachtungen und experimentelle Erkenntnisse zur maschinellen Lernbasierten Defektklassifizierung in Wafern

Diese Studie bietet einen umfassenden Überblick über Methoden des maschinellen Lernens zur Identifizierung von Defekten auf Halbleiterwafers. Sie analysiert die Vor- und Nachteile sowie potenzielle Anwendungen verschiedener Klassifizierungsalgorithmen.